基于SILVACO ATLAS的a-IGZO薄膜晶体管二维器件仿真（03）

今天逛ResearchGate的时候发现了一个不错的Atlas入门教程：Step by step with ATLAS Silvaco点击链接免费下载。。

Atlas代码结构

当然可能有一点太基础了。

改代码的时候发现了我犯了一个低级错误，region定义重复了，所以一直报错。

【注1】Tonyplot图片导出方法：选中图片，File-->save as *.png

【注2】Tonyplot数据导出方法：选中图片，File-->Export

　　Format: Silvaco Standard Format 这个格式是导出了器件里面所有的数据，包括电流、电场等等（不选）

　　　　　　Tonyplot User Data 这个格式就导出你在Tonyplot里面所看到的曲线的数据，仅此而已（选择）

　　Data:All Data / Displayed only

　　Base Directory:目录

　　File Basename:文件名

　　Extension:文件后缀

【注3】以上来自百度文库：Silvaco Tonyplot中如何导出数据导出图片保存文件

结构写好了，加上tftex10中的模型以及计算语句。

go atlas

mesh

x.m l=0 s=0.25

x.m l=40 s=0.25

y.m l=0 s=0.0005

y.m l=0.41 s=0.005

region num=1 material=igzo  y.min=0     y.max=0.06

region num=2 material=sio2  y.min=0.06  y.max=0.11

region num=3 material=al2o3 y.min=0.11  y.max=0.41

elec num=1 name=gate bottom

elec num=2 name=source y.max=0.0 x.min=0.0  x.max=5.0

elec num=3 name=drain  y.max=0.0 x.min=35.0 x.max=40.0

contact num=1 n.poly

contact num=2 workf=4.33

contact num=3 workf=4.33

models fermi

defects nta=1.55e20 ntd=1.55e20 wta=0.013 wtd=0.12 \

    nga=0.0 ngd=6.5e16 egd=2.9 wgd=0.1 \

    sigtae=1e-15 sigtah=1e-15 sigtde=1e-15 sigtdh=1e-15 \

    siggae=1e-15 siggah=1e-15 siggde=1e-15 siggdh=1e-15 \

    dfile=tft_don.dat afile=tft_acc.dat numa=128 numd=64

solve init

solve vdrain=0.1

save outf=tft.str

log outf=tft.log

solve vgate=0 vstep=-0.1 vfinal=-5 name=gate

tonyplot tft.log

tonyplot -overlay tft_don.dat -set tft_don.set

tonyplot -overlay tft_acc.dat -set tft_acc.set

tonyplot tft.str

quit

又有报错，Menory allocation failure.

有点理解程序员们改bug的心情了。

巴特西

基于SILVACO ATLAS的a-IGZO薄膜晶体管二维器件仿真（03）

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