Latch-up 閂鎖效應 & 靜電放電模式
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* Latch-up 閂鎖效應, 又稱寄生PNPN效應或可控矽整流器 ( SCR, Silicon Controlled Rectifier ) 效應.
在整體矽的CMOS 管下, 不同極性攙雜的區域間都會構成P-N結, 而兩個靠近的反方向的P-N結就構成了
一個雙極型的晶體三極管.
因此CMOS管的下面會構成多個三極管, 這些三極管自身就可能構成一個電路. 這就是MOS管的寄生三極管效應. 如果電
路偶爾中出現了能夠使三極管開通的條件, 這個寄生的電路就會極大的影響正常電路的運作, 會使原本的MOS電路承受
比正常工作大得多的電流, 可能使電路迅速的燒毀. Latch-up狀態下器件在電源與地之間形成短路, 造成大電流、EOS
(electrical overstress 電超載) 和器件損壞.
* 閂鎖效應在大線寬的工藝上作用並不明顯, 而線寬越小, 寄生三極管的反應電壓越低, 閂鎖效應的影響就越明顯. 閂鎖效
應被稱為繼電子遷移效應之後新的"CPU殺手". 防止CMOS電路設計中Latch-up效應的產生已成為IC設計界的重要課題.
靜 電 放 電 模 式
目前工業界大致定義了以下三種常見靜電放電模式:
HBM人體模式:
人體模式是ESD模型中建立最早和最主要的模型之一, 在IC製造和使用過程中, 人體和IC接觸的機會最多, 由人體靜電損傷造成IC失效的比例也最大, 而且在實際應用中, 工業界也大多採用HBM模式來標注IC的靜電等級. 人體模式指人體在地上走動、摩擦或者其他因素在人體上已積累了靜電, 當此人直接接觸IC時, 人體上的靜電便會經IC管腳進入IC內, 再由IC 放電到地. 此放電過程會在短至幾百納秒的時間內產生數安培的瞬間放電電流, 此電流會把IC內部元件燒毀.
MM機器放電模式:
機器本身積累了靜電, 當此機器接觸IC時, 該靜電便經過IC 管腳放電. 金屬製造的機器放電等效電阻極小, 因此其放電過程更短, 在幾納秒到幾十納秒之內會有數安培的瞬間放電電流產生, 因此對元件的破壞力更大.
CDM充電元器件模式:
因摩擦或接觸到其他物體的靜電電荷, IC內部積累了靜電, 但在靜電積累的過程中IC沒有受傷. 此帶有靜電的IC在處理過程中, 當其pin直接接地或間接接地時, 靜電便會經過pin從IC的內部釋放, 從而造成放電現象. 此種模式的放電時間更短, 放電上升時間小於1nS, 尖峰電流15安培, 持續時間小於10納秒.
, 又稱寄生PNPN效應或可控矽整流器 ( SCR, Silicon Controlled Rectifier ) 效應.
在整體矽的CMOS 管下, 不同極性攙雜的區域間都會構成P-N結, 而兩個靠近的反方向的P-N結就構成了
一個雙極型的晶體三極管.
因此CMOS管的下面會構成多個三極管, 這些三極管自身就可能構成一個電路. 這就是MOS管的寄生三極管效應. 如果電
路偶爾中出現了能夠使三極管開通的條件, 這個寄生的電路就會極大的影響正常電路的運作, 會使原本的MOS電路承受
比正常工作大得多的電流, 可能使電路迅速的燒毀. Latch-up狀態下器件在電源與地之間形成短路, 造成大電流、EOS
(electrical overstress 電超載) 和器件損壞.
* 閂鎖效應在大線寬的工藝上作用並不明顯, 而線寬越小, 寄生三極管的反應電壓越低, 閂鎖效應的影響就越明顯. 閂鎖效
應被稱為繼電子遷移效應之後新的"CPU殺手". 防止CMOS電路設計中Latch-up效應的產生已成為IC設計界的重要課題.
靜電放電模式
目前工業界大致定義了以下三種常見靜電放電模式:
HBM人體模式:
人體模式是ESD模型中建立最早和最主要的模型之一, 在IC製造和使用過程中, 人體和IC接觸的機會最多, 由人體靜電損傷造成IC失效的比例也最大, 而且在實際應用中, 工業界也大多採用HBM模式來標注IC的靜電等級. 人體模式指人體在地上走動、摩擦或者其他因素在人體上已積累了靜電, 當此人直接接觸IC時, 人體上的靜電便會經IC管腳進入IC內, 再由IC 放電到地. 此放電過程會在短至幾百納秒的時間內產生數安培的瞬間放電電流, 此電流會把IC內部元件燒毀.
MM機器放電模式:
機器本身積累了靜電, 當此機器接觸IC時, 該靜電便經過IC 管腳放電. 金屬製造的機器放電等效電阻極小, 因此其放電過程更短, 在幾納秒到幾十納秒之內會有數安培的瞬間放電電流產生, 因此對元件的破壞力更大.
CDM充電元器件模式:
因摩擦或接觸到其他物體的靜電電荷, IC內部積累了靜電, 但在靜電積累的過程中IC沒有受傷. 此帶有靜電的IC在處理過程中, 當其pin直接接地或間接接地時, 靜電便會經過pin從IC的內部釋放, 從而造成放電現象. 此種模式的放電時間更短, 放電上升時間小於1nS, 尖峰電流15安培, 持續時間小於10納秒.
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