基于SILVACO ATLAS的a-IGZO薄膜晶体管二维器件仿真(08)
2024-09-04 20:21:35
进展比较慢啊...
根据江南大学硕士论文IGZO/IZO双有源层薄膜晶体管特性的模拟研究:
其中,
gCBa:类受主导带尾态
gVBd:类施主价带尾态
gGd:类施主氧空位态
NDeep:价带尾深施主态
gta:E=Ec时,类受主能态密度
gtd:E=Ev时,类施主能态密度
Ea:导带尾斜率
Ed:价带尾斜率
gd:氧空位能态密度峰值
lamda:氧空位能态标准偏差
tao:氧空位能态平均能量
Ngd:E=Egd时,价带尾深施主态密度峰值
Wgd:价带尾深施主态标准偏差
Egd:价带尾深施主态平均能量
我又去找了下atlas用户手册的公式,如下:
对比就可以得到:
这毕业论文,写,错,公,式,了。
其实重点是我们可以得到具体的defect参数的意义。
再写一遍,如下:
gTA:类受主导带尾态
gTD:类施主价带尾态
gGA:类施主氧空位态
gDD:价带尾深施主态
NTA:E=Ec时,类受主能态密度
NTD:E=Ev时,类施主能态密度
WTA:导带尾斜率
WTD:价带尾斜率
NGA:氧空位能态密度峰值
EGA:氧空位能态标准偏差
WGA:氧空位能态平均能量
NGD:E=Egd时,价带尾深施主态密度峰值
WGD:价带尾深施主态标准偏差
EGD:价带尾深施主态平均能量
根据文献资料,提供的公式如下:
可得到参数间对应关系:
文章中提供的参数值如下:
即:
defect region=1 nta=5e18 wta=28 ega=0.13 nga=70 wga=45 egd=0.2 ngd=2.9e17 wgd=100
AT,AGS以及AGD含义暂时未知。
对比原定义:
defect region=1 nta=1e17 wta=0.013 wtd=0.12 ngd=6.5e14 wga=2 ntd=4.5e21 ngd=0 wgd=0
结果:
未完待续...
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